摘要
本发明提供一种三维封装芯片及其制造方法,所述三维封装芯片包括:多个工作芯片,在所述工作芯片的厚度方向上堆叠,形成堆叠芯片结构;布线层,设置在所述工作芯片的键合面上,且所述布线层电性连接于两侧的所述工作芯片;以及导电面,设置在所述堆叠芯片结构的顶面和侧面,且所述导电面电性连接于所述布线层,形成所述多个工作芯片的电源供电网络。通过本发明提供的一种三维封装芯片及其制造方法,可改善三维封装芯片中的直流损耗和热损耗。
技术关键词
三维封装芯片
堆叠芯片结构
重布线层
导电条
供电网络
阻挡层
硅通孔结构
金属垫
焊料
焊球
电源
损耗
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