芯片模糊缺陷检测模型的训练方法、缺陷检测方法及设备

本公开提供了一种芯片模糊缺陷检测模型的训练方法、缺陷检测方法及设备，包括：获取图像数据集及初始芯片模糊缺陷检测模型；利用特征提取器对所述图像数据进行特征提取，得到图像特征；将所述图像特征输入至初始自监督分类器中，确定所述初始自监督分类器对应的自监督损失函数；将所述图像特征输入至初始检测器中，经过所述初始检测器处理，输出预测缺陷数据；根据所述真实缺陷数据及所述预测缺陷数据，确定检测损失函数；将所述自监督损失函数及所述检测损失函数进行加和处理，得到目标损失函数；基于目标损失函数对初始芯片模糊缺陷检测模型进行训练，直至所述初始芯片模糊缺陷检测模型训练次数达到预设次数，得到芯片模糊缺陷检测模型。