摘要
本申请公开了一种扇出型封装集成散热结构,涉及半导体封装技术领域。该结构包括:芯片,设置于模塑中,所述芯片至少一颗;再布线层,设置于所述芯片和模塑的下方;焊球,设置于所述再布线层下;第一热界面层,设置于模塑顶部;集成散热器,设置于第一热界层上。本发明所提供的扇出型封装集成散热结构,集成散热器直接贴附在扇出型封装上以增强顶部通路散热,以满足增大的功率密度和热流密度对散热性能的要求。该结构的模塑可以保护芯片、控制翘曲,也可以发挥支撑集成散热器的作用。
技术关键词
集成散热结构
集成散热器
扇出型封装
热界面
控制翘曲
半导体封装技术
环氧模塑料
布线
保护芯片
焊球
热板
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