摘要
本发明提供一种倒装发光二极管芯片及其制备方法,其中倒装发光二极管芯片的制备方法包括:提供一生长所需的衬底,在衬底上依次沉积N型半导体层、有源发光层以及P型半导体层;在P型半导体上制备N型导电通孔;在P型半导体层以及N型导电通孔上制备电流扩展层;在N型导电通孔以及电流扩展层上制备隔离槽;在P型半导体层、N型导电通孔、电流扩展层以及隔离槽上制备第一半导体层;在第一半导体层上制备第三绝缘层;在第三绝缘层上制备导热金属层;在导热金属层上制备第四绝缘层;在第四绝缘层上制备焊盘层;利用共晶焊接工艺,将完成步骤S9后的半成品焊接在支架上。
技术关键词
倒装发光二极管芯片
布拉格反射层
半导体层
电流扩展层
金属反射层
通孔
导热
电感耦合等离子体
表面涂布
有源发光层
负性光刻胶
导电
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焊接工艺
半成品
P型焊盘
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