一种倒装发光二极管芯片及其制备方法

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一种倒装发光二极管芯片及其制备方法
申请号:CN202411856428
申请日期:2024-12-17
公开号:CN119317276B
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种倒装发光二极管芯片及其制备方法,其中倒装发光二极管芯片的制备方法包括:提供一生长所需的衬底,在衬底上依次沉积N型半导体层、有源发光层以及P型半导体层;在P型半导体上制备N型导电通孔;在P型半导体层以及N型导电通孔上制备电流扩展层;在N型导电通孔以及电流扩展层上制备隔离槽;在P型半导体层、N型导电通孔、电流扩展层以及隔离槽上制备第一半导体层;在第一半导体层上制备第三绝缘层;在第三绝缘层上制备导热金属层;在导热金属层上制备第四绝缘层;在第四绝缘层上制备焊盘层;利用共晶焊接工艺,将完成步骤S9后的半成品焊接在支架上。
技术关键词
倒装发光二极管芯片 布拉格反射层 半导体层 电流扩展层 金属反射层 通孔 导热 电感耦合等离子体 表面涂布 有源发光层 负性光刻胶 导电 刻蚀工艺 电子束 ALD工艺 焊接工艺 半成品 P型焊盘
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