摘要
本发明涉及层叠半导体技术领域,尤其是涉及一种三维动态随机存取存储器封装结构。三维动态随机存取存储器封装结构包括衬底、3D DRAM器件和散热部件;所述3D DRAM器件设置在衬底上,所述散热部件设置在3D DRAM器件的上表面;所述衬底上设置有散热通道,所述散热部件的部分结构与散热通道的开口端接触。3D DRAM中,由于多层芯片堆叠,热量在垂直方向上累积,使得底部芯片的散热负担加重,本申请中通过在衬底上设置散热通道,底部芯片的热量可以通过散热通道传递至散热散热部件进行散热,由此,提高了芯片的散热效率。
技术关键词
动态随机存取存储器
散热部件
封装结构
导热结构
衬底
通道
多层芯片堆叠
层叠
导热板
散热板
散热翅片
散热层
空腔
负担
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