晶圆加工传输机构及晶圆减薄机

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆加工传输机构及晶圆减薄机，该晶圆加工传输机构包括定位件、工作盘、清洗件和机器人，其中，定位件用于定位晶圆；工作盘用于承载晶圆，加工件能加工位于工作盘上的晶圆，位于工作盘的晶圆的轴线沿第一方向延伸；清洗件用于清洗晶圆，位于清洗件的晶圆的轴线沿第二方向延伸，第一方向与第二方向呈夹角设置；机器人能将位于定位件的晶圆移动至工作盘，并能将位于工作盘的晶圆转移至清洗件。上述设置中的机器人，安装便捷，便于调试，重复定位精度高，相较于直线滑轨结构，机器人的占用空间小，有利于减小晶圆加工传输机构以及晶圆减薄机整体尺寸。