一种晶圆产品双面吸盘

本实用新型公开了一种晶圆产品双面吸盘，包括兰接头，所述法兰接头远离法兰面的一端中部开设有铝板固定槽，所述法兰接头靠近法兰面的一端中心处上下开设有气管槽，两个所述气管槽的内部均设置有气管接头，所述铝板固定槽的内部上方设置有上铝板，所述铝板固定槽的内部下方设置有下铝板，所述上铝板与下铝板之间设置有分隔铝板。本实用新型设置的上铝板、下铝板和分隔铝板，配合气路槽可在螺栓的固定下，通过上下两块铝板上开辟气路，并采用中间铝板进行上下气路的分隔形成吸盘气路组合件，在装到机器人手臂上后，可通过气管接头连接真空管路，上下两个面各连接一条管路，进而可通过两条管路上设置的PEEK吸盘，使上下两个面均可以吸附晶圆产品。