一种MEMS压阻式触觉传感器及智能设备

本实用新型提供了一种MEMS压阻式触觉传感器及智能设备，其包括：形变机构，其包括形变主体及力传递支柱，力传递支柱连接于形变主体的中心；敏感响应机构，其包括基体以及悬臂梁，基体上设有中空的响应区域，多个悬臂梁分别由响应区域的边缘朝向中心延伸，且与力传递支柱相互抵接。本实用新型通过形变机构将其受到的力传递至敏感响应机构上，并由悬臂梁进行形变信号传输，以达到触觉传感的目的，响应区域的中空结构能够为悬臂梁提供更大的形变空间，使悬臂梁具有放大形变机构受力的效果，由此实现提高传感器灵敏度的目的。相比于现阶段常规触觉传感器来说，本申请兼具结构简单、便于生产加工、线性度好、抗干扰能力强及高精度和高灵敏度等优势。