摘要
一种半导体芯片加工用切割装置,属于半导体芯片加工技术领域,为了解决工人未将固定螺母紧固到位时,导致刀片在高速旋转的过程中出现偏移,影响切割精度的问题,本发明中电机外壳的侧壁上固定安装有支撑架,且电机输出轴的圆周外壁上固定套设有限位块,电机输出轴的末端螺纹连接有固定螺母,支撑架上还固定设置有L形支架,L形支架上固定设置有电动伸缩柱,电动伸缩柱的输出末端转动安装有调位组件,调位组件的内部活动设置有防脱落组件,调位组件的侧壁上连通固定设置有一对顶紧组件,本发明能够在不停机的情况下对已经松动的刀片进行固定,将切割至一半的晶圆继续切割完成再进行检修,减少了晶圆拿取的次数,能够降低半导体芯片受损的概率。
技术关键词
半导体芯片
切割装置
调位组件
设备外壳
顶紧组件
伸缩柱
异形板
L形支架
内腔
刀片
滑槽
移动组件
支撑块
安装杆
支架主体
永磁
防脱落组件
升降组件
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