摘要
本发明公开了一种自动辅助检测的芯片缺陷视觉检测设备,具体涉及芯片缺陷光学检测技术领域,包括底座、框板、联动电缸以及光学封闭定位检测机构;其中光学封闭定位检测机构包括推块、联动块、L形条、竖向盖板、定位槽条、横向盖板、联动条以及光学视觉传感器,还包括多向补光机构和光学封闭定位组件。本发明利用光学封闭定位检测机构,具有避免补光的光线受到外部光线照射影响,实现全封闭检测,大幅度提高芯片缺陷视觉检测的精确性的优点,从而解决了光学检测过程中外部光线会产生照射影响,同时补光的光线也会受到外部光线照射影响,导致芯片缺陷视觉检测精确性较差的问题。
技术关键词
缺陷视觉检测
定位检测机构
芯片
视觉传感器
补光灯
电缸
缺陷光学检测
定位组件
框板
滑动块
底座
支撑箱
滑块
推块
距离传感器
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控制器
输出端
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