摘要
为改善现有的喷墨芯片中加热电阻层、导电层交界处的两层倾斜阶梯状架构中,其机械强度、使用寿命、节能性与生产良率的不足,本发明提出一种新颖的喷墨芯片结构,结构包括:基板层、加热电阻器,与一保护层。其中加热电阻器,设于基板层上,而保护层则覆盖于加热电阻器上。上述中加热电阻器具有加热电阻层和介电层,该介电层之上,即保护层开设有数个凹陷结构。此外,加热电阻层周遭设置有连接层,所述连接层以俯视视角观的呈矩形构型,在加热电阻层的各个方向均有两个以上,且所有连接层的其中一边的边长均为固定尺寸。
技术关键词
喷墨芯片
加热电阻器
电阻层
导电层
凹陷结构
氮化钽
基板
五氧化二铌
多晶硅材料
钛钨合金
氮化钛
二氧化铪
金属材料
碳化硅
二氧化锆
氧化铟锡
硫化镉
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