一种转盘式预叠设备

本发明涉及集成电路生产技术领域，尤其是指一种转盘式预叠设备，包括第一上料机构、第二上料机构、第三上料机构、移料机构及转盘机构，转盘机构设置有多个用于容置物料的固定模组，第一上料机构、第二上料机构、第三上料机构及移料机构沿着转盘机构的转动方向依次设置。本发明将传统预叠用的组合台更换为转盘机构，利用转盘机构使得固定模组逐一经过第一上料机构、第二上料机构、第三上料机构以及移料机构，从而实现多个机构同步运动的效果，使得预叠的效率得到进一步提升。