一种微波芯片筛选测试装置及方法

本发明公开了一种微波芯片筛选测试装置及方法，涉及芯片筛选技术领域，旨在解决现有微波芯片筛选准确度不够高的技术问题，包括筛选台，本发明通过在筛选台上设置三轴移动机构，在Z轴移动机构上设置芯片检测机构、变距机构、尘粒扬吸机构及真空吸盘，通过尘粒扬吸机构的切换组件、连杆组件及联动组件致使若干双态通道组件同步形成利风扬粒状态或集中回吸状态，针对微波芯片的特性，吹气时，利风扬粒状态可将芯片表面顽固附着的微尘彻底吹起扬撒，确保灰尘脱离芯片表面；吸气时的集中回吸状态，又能迅速将扬起的灰尘集中收集，避免二次污染，既保障了芯片清洁度，又为芯片的后续加工、封装等工序提供了良好的基础条件，提升了整体产品质量。