用于独立驱动的半导体激光线阵光源及其制备方法

本公开提供一种用于独立驱动的半导体激光线阵光源及其制备方法，方法包括：根据边发射半导体激光光源的线阵长度和间距，光刻形成激光列阵条的发光区和电隔离区，激光芯片各发光单区之间的线阵定位精度为亚微米量级；制备过渡热沉，在过渡热沉双面电镀金属层；在过渡热沉上的激光列阵条焊接区均匀制备焊料，在激光列阵条的电极与过渡热沉贴合的区域间隔制备焊料；将激光列阵条正装或倒装贴片在过渡热沉上，使激光器出光面与过渡热沉一顶面边沿对准，完成激光列阵条到过渡热沉的焊接；将激光列阵条隔离区割断，使激光列阵条分离形成独立激光芯片及热沉的供电回路；逐一将单颗激光芯片引线键合到驱动电路正负极板上，形成边发射半导体激光光源；对边发射半导体激光光源进行光学准直和光束整形。