电容式多维力传感器、机械手及机器人

本发明适用于传感器技术领域，提供了一种电容式多维力传感器、机械手及机器人。电容式多维力传感器包括第一法兰、第二法兰、弹性体、动电极组件和静电极组件。动电极组件安装在第一法兰上，静电极组件安装在第二法兰上。通过采用将弹性体设置成包括沿竖向方向延伸，并相对的第一连接臂和第二连接臂，并将第一法兰和第二法兰也沿竖向方向相对间隔设置，同时，第一连接臂与第一法兰相连，第二连接臂与第二法兰相连。这样，第一法兰、弹性体和第二法兰都采用沿竖向方向布置，而且，弹性体也采用在竖向方向上与对应的法兰相连，从而能够减少整个传感器在横向方向的尺寸，降低了传感器的整体体积，有利于满足对产品微型化的需求。