一种近红外透射式高精度倒装键合装置

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一种近红外透射式高精度倒装键合装置
申请号:CN202510544109
申请日期:2025-04-28
公开号:CN120637272A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及键合装置技术领域,提供了一种近红外透射式高精度倒装键合装置,包括工作台;本发明中,旋转气缸带动推杆以及吸头转动,推杆带动吸头同步转动,当转动到一定位置时与支撑移动块靠近第二滑槽一侧的斜面接触,支撑移动块受力同步移动,且固定板随之移动,固定板带动检测记录模块以及第三固定杆移动,检测记录模块移动后对芯片信息检测记录,实现同步移动记录,提高检测记录精准性,而第三固定杆移动调动照明灯移动,照明灯对芯片移动照明,从而使得芯片检测时更清晰,支撑移动块推动到第一滑槽的另一侧后,推块与支撑移动块分离,等键合后,第一固定杆翻转,使得推块再次与支撑移动块接触,使得支撑移动块回到原处,便于下次检测记录。
技术关键词
键合装置 旋转气缸 移动块 工作台 顶端 滑槽 基座 检测组件 照明灯 推杆 检测器 芯片 运动 支撑杆 斜面 基台 模块 推块 轨迹
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