摘要
本发明涉及半导体芯片封装技术领域,特别涉及一种光电共封装的光耦合被动对准封装结构及方法。本发明通过利用光芯片倒装回流焊过程中的焊球张力效应,实现光芯片中光栅耦合器与转接板过孔的高精度自动对准,形成稳定的光学限位结构。通过在转接板过孔中放置尺寸相适应的光学元件,并利用固化胶完成折射率匹配与结构固定,实现光学元件(如裸光纤、光纤阵列、反射镜等)与光栅耦合器的被动耦合。整个过程无需额外的主动对准设备,与传统芯片封装工艺相同,具有工艺简单、成本低、封装效率高的优势,是未来光电共封装系统的关键封装技术。
技术关键词
光芯片
光学元件
封装结构
封装基板
光栅耦合器
光电
半导体芯片封装技术
主动对准设备
光纤阵列
折射率匹配液
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