基于固相萃取的高选择性MEMS乙醇传感器、酒精检测仪及乙醇检测方法

本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种基于固相萃取的高选择性MEMS乙醇传感器、酒精检测仪及乙醇检测方法，所述高选择性MEMS乙醇传感器包括传感器封装、微热板芯片、吸脱附单元及敏感单元，所述传感器封装形成有气体扩散腔室，所述微热板芯片设置在所述气体扩散腔室内，所述吸脱附单元及所述敏感单元分别设置在所述微热板芯片的两个不同单元上；其中，所述吸脱附单元的材料为MFI构型分子筛中硅铝比为70的ZSM‑5；所述敏感单元的材料为0.5％mol Pt修饰的SnO2。本发明实现了乙醇的高选择性检测。