半导体结构的制造方法

AITNT
正文
推荐专利
半导体结构的制造方法
申请号:CN202510779961
申请日期:2025-06-11
公开号:CN120656933A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本公开实施例提供半导体结构的制造方法,所述方法包括:提供第一键合结构,所述第一键合结构包括第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆包括第一半导体层,所述第二晶圆包括第二半导体层;所述第一半导体层和所述第二半导体层分别位于所述第一键合结构沿键合方向相对的两侧;对所述第一半导体层和/或所述第二半导体层进行减薄处理;通过激光照射工艺在减薄后的所述第一半导体层和/或所述第二半导体层中形成改质区域。
技术关键词
键合结构 半导体层 晶圆 接触结构 改质 半导体结构 垂直互连结构 激光 界面 芯片
系统为您推荐了相关专利信息
1
集成基波谐振器和谐波谐振器的滤波器及其制作方法
谐波 厚度延伸振动模式 电极 反射镜 薄膜体声波谐振器
2
一种半导体芯片封装结构及封装方法
红外截止滤光片 重布线层 封装结构 玻璃 晶圆
3
一种用于半导体的显示屏制造方法
有源区 电极引线 紫外光刻技术 半导体衬底 显示屏
4
一种晶圆膜厚测量方法和化学机械抛光设备
测量方法 机械抛光设备 FFT算法 拟合算法 温度检测单元
5
一种用于晶圆检测的路径规划方法、装置、设备及介质
对象 路径规划方法 坐标 计算机可执行指令 晶圆
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号