摘要
本发明公开了一种芯片载具的上下料设备及芯片测试系统,涉及半导体芯片测试技术领域,其中,上下料设备包括机架、定位机构、料盒以及转移机构;机架的两侧均设置有上下料工位;定位机构设置于机架的顶部;料盒设置于定位机构的顶部;转移机构安装于机架,转移机构上设置有数片传感器,数片传感器用于获取放置于料盒内的芯片载具的数量信息和位置信息;转移机构用于取出料盒内的芯片载具并转移至定位机构上进行定位,并将定位后的芯片载具转移至上下料工位;转移机构还用于将上下料工位的芯片载具转移至定位机构上进行定位,并将定位后的芯片载具放置在料盒内。本发明的上下料设备能实现对两个外部探针测试机进行自动上下料,效率更高。
技术关键词
探针测试机
取放组件
定位平台
芯片测试系统
料盒
驱动件
半导体芯片测试技术
机架
工位
支撑台
传感器
安装盒
支撑臂
推杆
支板
承片台
凹槽
滑块
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