摘要
本发明涉及电路芯片生产加工技术领域,具体是一种集成电路芯片封装覆膜装置,包括覆膜工位、膜材输入装置、膜材盖合装置及膜材覆压装置。覆膜工位的设备平台上,载具基板搭载可旋转的旋转盘,盘上均布芯片载具。膜材输入装置通过输入支撑架、延伸组件与膜材剥离板,实现膜材输送与剥离;膜材盖合装置利用盖合支撑架、横向及竖向调节组件,配合下压驱动器,驱动盖合部件将膜材精准覆盖芯片。膜材覆压装置的驱动气缸带动作业框架移动,摆动式压膜底框通过枢轴结构调节角度,压膜作业部件完成膜材压实。本装置自动化程度高,可精准控制覆膜过程,有效提升芯片封装质量与生产效率。
技术关键词
封装覆膜装置
集成电路芯片
框架主板
横向调节组件
延伸组件
剥离板
驱动气缸
位移机构
伸缩支架
旋转盘
浮动接头
驱动器
枢轴组件
支架板
插接槽口
枢轴结构
底部调节机构
支撑框架
电磁阀控制模块
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