一种晶圆制造车间多机器人调度验证平台设计方法及系统

本发明公开了一种晶圆制造车间多机器人调度验证平台设计方法及系统，首先构建晶圆制造车间实验环境，包括加工机台/线边仓模拟器、移动机器人；然后搭建指示灯系统，通过指示灯的状态表示加工机台/线边仓工作状态；其次，部署5G通信系统，作为整个算法验证平台的通信中枢，具备高带宽和低延迟的优点，确保机器人可以实时、准确地交换信息；最后，创建机器人调度软件，可以实现机器人信息的编辑、地图数据的路径信息编辑、路径生成，此外用户可以通过该软件给移动机器人下发任务、控制指示灯的状态并且在线显示移动机器人的状态及位置等信息。本发明以低成本、易操作的方式对晶圆制造车间多机器人的调度方法进行验证，用于教学和研究。