摘要
本申请涉及半导体生产技术领域,具体公开了一种试剂放置组件、湿法机台与自动换液系统。其中,试剂放置组件包括:支撑件和接液件;所述支撑件上设置有放置区,所述放置区用于供试剂瓶放置;所述接液件设置于所述放置区旁侧,用于承接取液管的滴落物。所述试剂放置组件的接液件能够承接取液管的滴落物。本方案中,通过接液件能够承接滴落物,从而在更换试剂瓶的过程中,将试剂瓶的瓶盖取下后,可以将瓶盖移动到接液件的上方,使得瓶盖上取液管的滴落物得到承接,有效地防止了试剂对机台和工作环境的污染,并降低工作人员的清理负担。
技术关键词
自动换液系统
多轴机械臂
抓取手爪
试剂瓶
机台
支撑件
存放仓
瓶盖
汇流板
开口结构
喇叭口结构
机器人
驱动件
移动台
折叠门
输出端
仓门
半导体
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