一种试剂放置组件、湿法机台与自动换液系统

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一种试剂放置组件、湿法机台与自动换液系统
申请号:CN202520652861
申请日期:2025-04-09
公开号:CN222883508U
公开日期:2025-05-16
类型:实用新型专利
摘要
本申请涉及半导体生产技术领域,具体公开了一种试剂放置组件、湿法机台与自动换液系统。其中,试剂放置组件包括:支撑件和接液件;所述支撑件上设置有放置区,所述放置区用于供试剂瓶放置;所述接液件设置于所述放置区旁侧,用于承接取液管的滴落物。所述试剂放置组件的接液件能够承接取液管的滴落物。本方案中,通过接液件能够承接滴落物,从而在更换试剂瓶的过程中,将试剂瓶的瓶盖取下后,可以将瓶盖移动到接液件的上方,使得瓶盖上取液管的滴落物得到承接,有效地防止了试剂对机台和工作环境的污染,并降低工作人员的清理负担。
技术关键词
自动换液系统 多轴机械臂 抓取手爪 试剂瓶 机台 支撑件 存放仓 瓶盖 汇流板 开口结构 喇叭口结构 机器人 驱动件 移动台 折叠门 输出端 仓门 半导体
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